手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。
托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。
一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片上。
因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!
检验这张12英寸晶圆的最好方法就是放入光刻机,直接进行光刻!
所以几乎是马不停蹄,晶圆被吸入了光刻机里。
经过几分钟的等待,一片光刻好的晶圆就诞生了。
直到这一步,所有的工程师才欢呼起来!
“成功了!”
“一次性成功!”
“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”
很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。
不多时,详细数据就已经有了。
“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有1.2%”
“损耗率比国外低7.9%!”
这个数据无疑是惊人的!
因为1.2%的损耗率实在是太低了。
硅片因为过薄而崩裂是一种非常常见的事情!
而1.2%的损耗代表什么!?
每一百片硅片会分1~2片!
国外可不只是这么简单了!
几个院士此时也无比激动!
这个成品率简直惊世骇俗!
其实最大的原因还是因为多线切割机这个想法!
简直是一个极度聪明的点子!
现在。
12英寸晶圆实现国产,国内的芯片制造就彻底不需要担心被卡脖子了!
而且芯片成本也会大幅度下降!
直到现在,华夏的芯片之路才算是真正的和国外走在了同一个水平线上!
“小叶,你真是半导体行业的天才!”
“1.2%的损耗率!了不起啊!这次叶羽在12英寸晶圆技术上,有无可替代的作用!”
“要不是小叶的这些图纸,我们恐怕五年之内都要对国外望其项背啊!”
几位院士的话真的是毫不夸张。
因为多线切割机的创意是叶羽提出来的。
要是没有叶羽,他们可能还在纠结内圆切割机的问题!
其中所有机器中,最重要的还是化学机械抛光机!
国内的机器全是从外国进口!
人家要是哪一天不高兴卖了,那么国内的晶圆发展当场就死机。
不过现在不同了。
现在华夏也有了抛光机!
这条生产线完全是由华夏自己研发出来的!
因此,几位院士的激动就可想而知了!
举个例子来说,光刻机相当于炊具!
而晶圆就相当于是蔬菜米面!
之前国内可以说什么都没有,但是极紫外光刻机有了!
这可以说是振奋人心的事情。
不过巧妇难为无米之炊!
没有米面和蔬菜,怎么做饭呢?
现在有了生产线,就好比是有了种菜的方法和一切条件!
可以正儿八经开始做饭了!
顾援军是最心疼叶羽的,他知道现在叶羽已经十分疲惫,于是上前道:“小叶,后续的事情交给我们吧,你早点回家!”
第四十二章 12英寸晶圆生产线的损耗率仅有1.2%[2/2页]